У працэсе плазменна-хімічнага асаджэння з паравой фазы (PECVD) кожнае электрычнае злучэнне, ад перадачы радыёчастотнай магутнасці да кіравання тэхналагічным газам, непасрэдна ўплывае на аднастайнасць асаджэння тонкай плёнкі і выхад чыпа. Сутыкаючыся з жорсткім асяроддзем мініяцюрнага абсталявання, высокага вакууму і моцных электрамагнітных перашкод,WAGOРаздымы picoMAX® з трыма асноўнымі перавагамі: кампактнасцю, надзейнасцю і эфектыўнасцю, сталі ідэальным рашэннем для падключэння сістэм PECVD.
Інавацыйны кампактны дызайн
Адаптацыя да макетаў дакладных камер
Унутраная прастора абсталявання PECVD абмежаваная, што патрабуе шчыльнага размяшчэння ліній харчавання, сігнальных і датчыкаў вакол рэакцыйнай камеры. picoMAX® выкарыстоўвае канструкцыю з адной спружынай, падвойнага дзеяння, з некалькімі даступнымі крокамі паміж кантактамі 3,5/5,0/7,5 мм. Пасля спалучэння ён займае на 30% менш месца, чым папярэднія прадукты, ідэальна адаптуючыся да патрабаванняў да праводкі вакол камеры. Яго раз'ём адтуліннага тыпу амаль цалкам убудаваны ў кантактны раз'ём, што дазваляе падключаць яго побач без страты палюсоў, значна паляпшаючы выкарыстанне друкаванай платы і дазваляючы ўпарадкавана размяшчаць лініі харчавання і сігнальных і сілавых ліній без перашкод у полі патоку тэхналагічнага газу.
Надзейная абарона ад экстрэмальных умоў эксплуатацыі
Працэсы PECVD ўключаюць высокі вакуум, высокачашчынную плазму і вібрацыю, што прад'яўляе высокія патрабаванні да надзейнасці раздыма. picoMAX® мае стабільную канструкцыю з устойлівасцю да вібрацыі да 12g, што прадухіляе аслабленне злучэння, выкліканае высокачашчыннай вібрацыяй. Ён таксама мае канструкцыю супраць няправільнай устаўкі і блакіровачную прыладу, што ліквідуе памылкі ўстаноўкі і прадухіляе выпадковае адключэнне, забяспечваючы бесперапынную працу абсталявання без прастояў.
Хуткае падключэнне без інструментаў
picoMAX® выкарыстоўвае тэхналогію хуткага падключэння без інструментаў, што дазваляе злучаць «падключы і ўтрымлівай» як аднажыльныя, так і шматжыльныя правады з дапамогай халоднапрэсаваных раздымаў. Складаныя злучэнні правадоў выконваюцца за адзін крок, што значна павышае эфектыўнасць зборкі і скарачае цыклы адладкі. Модульная канструкцыя сумяшчальная з працэсамі паяння аплаўленнем, задавальняючы патрэбы аўтаматызаванай вытворчасці ў зніжэнні выдаткаў. Яна таксама ахоплівае ўсе сцэнарыі падключэння PECVD: крок паміж кантактамі 3,5 мм падыходзіць для сігнальных правадоў 0,2-1,5 мм², а крок паміж кантактамі 5,0/7,5 мм падтрымлівае лініі харчавання 16 А. Ён падтрымлівае метады мантажу «праваднік-плата» і праз сцяну, сумяшчальны з праводкай у шафах кіравання і полымі праводкамі, а таксама адпавядае стандартам электрычнай бяспекі GB/T 5226.1, ствараючы надзейную абарону для стабільнасці працэсу.
У паўправадніковай прамысловасці, дзе дакладнасць працэсаў на нанаметровым узроўні мае першараднае значэнне, надзейныя злучэнні з'яўляюцца гарантыяй высокай прадукцыйнасці.WAGOpicoMAX®, дзякуючы сваёй рэвалюцыйнай канцэпцыі дызайну прадукту, дасягае «малых памераў, высокай прадукцыйнасці» ў кампактных памерах, забяспечваючы стабільныя, эфектыўныя і даўгавечныя рашэнні для падключэння абсталявання PECVD. Гэта дапамагае вытворцам паўправаднікоў пераадольваць праблемы дакладных тэхналагічных злучэнняў, захоўваючы мікраметровую дакладнасць кожнага чыпа.
Час публікацыі: 13 сакавіка 2026 г.